偏光式エンコーダの開発と精密角度計への応用

古川 秀樹; 小口 寿明; 高橋 邦彦; 高橋 隆一

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_507

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: G38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_507

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

偏光式エンコーダの開発と精密角度計への応用

*古川秀樹, 小口寿明, 高橋邦彦, 高橋隆一

著者情報

キーワード: アブソリュートロータリエンコーダ, 光学センサ, 高分解能, 角度計

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抄録

光の偏光軸を検出する原理に基づいた，外径φ8，シャフト径φ3と小型でありながらも，65536分割と高分解能なロータリーエンコーダを開発した．小さなスペースへの適用を可能にするとともに，180°範囲での絶対角度検出の実現に成功した．本開発品を用いて分解能0.01degの精密角度計を開発した．角度測定部の小型化により，複雑な形状をもつ加工部材の角度計測を可能とした．低慣性のため高応答が可能であり，光学機器にも適用できる．

責任著者(Corresponding author)

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