精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: G76
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グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発(第12報)
スマートポリシング・システムの構築(総集)
*瀬下 清土肥 俊郎大坪 正徳塚本 敬一山崎 努川村 佳秀市川 大造
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抄録
本報告では、開発した高速圧加工装置とダイラタンシー現象応用の新規高性能パッドによるSiC基板加工において、従来の加工法では実現が困難であった高能率化と高品位化を両立させ得る一連の加工工程、いわゆるスマートポリシング・システムについてまとめる。その内容は、TEMによる加工層のダメージ評価を行い、基板加工の所要時間を1/5~1/7に短縮し得ることを明らかにし、実プロセスへの適用の可能性について述べる。
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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