カーボンオニオンを用いた超精密研磨の研磨速度向上

抄録

カーボンオニオンを用いた最大高さサブナノメートルの超精密研磨において研磨速度の向上を検討した．砥粒の突き出し量や切り込み深さを変化させるために，研磨パッドの材質や砥粒の粒径，研磨圧力を変化させて研磨を行った結果，硬質のスウェードパッドで小さな粒径の砥粒を用いることで到達面粗さを維持しつつ研磨速度が向上した．また，研磨圧力によらず超精密研磨が達成されたが，研磨速度に大きな差はみられなかった．