リアルタイム位置キャプチャシステムを用いた超精密加工機の3軸同時制御軌跡の精度検証

段 昊; 森田 晋也; 山形 豊; 細畠 拓也; 竹田 真弘; 本原 顕太郎; 北川 祐太朗

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_653

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: I19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_653

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

リアルタイム位置キャプチャシステムを用いた超精密加工機の3軸同時制御軌跡の精度検証

*段昊, 森田晋也, 山形豊, 細畠拓也, 竹田真弘, 本原顕太郎, 北川祐太朗

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キーワード: 機上計測, 超精密加工機, 非球面光学素子

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抄録

超精密加工機を用いたサブミクロン精度の複雑な自由曲面形状の加工においては，多軸同時制御が必要であるが，その移動軌跡精度の検証は困難である．筆者らは，この問題を解決するため，超精密加工機用のリアルタイム位置取得システムを開発しており，すでに2軸同時制御で精度悪化因子である象限突起現象の発生について様々な条件で検証を行っている．本篇では位置取得システムを2軸と3軸の同時制御で軌跡精度検証を行う．

責任著者(Corresponding author)

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