ダイヤモンド製マイクロフライス工具によるSiCの超精密切削

浅井 渉; 鈴木 浩文; 岡田 睦; 升田 裕樹; 藤井 一二; 伊藤 洋介; 森田 晋也

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_655

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: I20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_655

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

ダイヤモンド製マイクロフライス工具によるSiCの超精密切削

*浅井渉, 鈴木浩文, 岡田睦, 升田裕樹, 藤井一二, 伊藤洋介, 森田晋也

著者情報

キーワード: 超精密切削, SiC, マイクロフライス工具, 単結晶ダイヤモンド

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抄録

SiCなどのセラミックス製の非球面ガラス成形型は通常，ダイヤモンドホイールにより研削加工されているが，工具摩耗，加工技術が高度，加工できる形状に制限がある等の問題がある.そこで本研究では多数の切刃を有する単結晶ダイヤモンド製マイクロフライス工具を試作し，SiC製非球面金型の超精密切削を試みて実用レベルの切削加工の可能性を検証した．実験では，マイクロフライス工具の摩耗量を評価し，非球面形状の金型を試作した．

責任著者(Corresponding author)

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