送り速度制御によるダイヤモンド切削における回折効果の低減

抄録

単結晶ダイヤモンドアールバイトを用いた超精密非球面切削による非球面金型の超精密切削加工は広く用いられている．近年リニモータ駆動の超精密加工機が開発され，工作物の表面粗さは画期的に向上したが，反面，送りが正確になったがゆえに回折効果が増加し，仕上げ加工として遊離砥粒を用いた研磨加工が不可欠となっている．そこで本研究では，送り速度に乱数を取入れて表面粗さの規則性を除去し，回折効果を除去することを検討したので報告する．