マルチワイヤ放電スライシング法における加工溝幅均一性の検討

岡本 康寛; 金谷 雅仁; 池田 崇之; 栗原 治弥; 岡田 晃; 木戸 正孝

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_665

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: I31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_665

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

マルチワイヤ放電スライシング法における加工溝幅均一性の検討

*岡本康寛, 金谷雅仁, 池田崇之, 栗原治弥, 岡田晃, 木戸正孝

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キーワード: マルチワイヤ, 放電スライシング, グループ給電, 加工溝幅

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抄録

マルチワイヤ放電スライシング法は一度に複数箇所を同時に加工できることから，ワイヤ電極ピッチ等に応じた厚さのウェハ状加工物を得ることができる．この時，均一な厚さの加工物を得るためには，加工溝の均一性が重要となる．本報告では本マルチワイヤ放電スライシング法の給電法，ならびに加工幅が変化する加工対象物においても一様な加工溝幅を得るために検討した結果に関して述べる．

責任著者(Corresponding author)

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