光触媒効果を利用したトランスファプリントの転写性向上

案納 響平; 森 章洋; 川畑 敦士; 金子 新

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_869

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: N46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_869

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

光触媒効果を利用したトランスファプリントの転写性向上

*案納響平, 森章洋, 川畑敦士, 金子新

著者情報

キーワード: 光触媒, エッチング, トランスファプリント

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抄録

トランスファプリントの転写性を向上させるために，光触媒の利用を試みている．ポリスチレン（PS）表面にTiO₂粒子を接触させた状態で紫外線を照射すると，PS表面が深さ50nm程度エッチングされる．PDMSで作製したスタンプ表面をTiO₂粒子とPS薄膜でコーティングした後に，Auを成膜した．このスタンプを基板に接触させながら紫外線を照射すると，PS薄膜がエッチングされてAu薄膜の転写性が改善する．

責任著者(Corresponding author)

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