ナノインデンテーション装置によるナノ粒子圧縮試験における圧子形状の影響

室伏 梨穂; 青野 祐子; 平田 敦

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_87

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: B08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_87

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

ナノインデンテーション装置によるナノ粒子圧縮試験における圧子形状の影響

*室伏梨穂, 青野祐子, 平田敦

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キーワード: 圧縮試験, ナノ粒子, ナノインデンター

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抄録

ナノ粒子の機械的性質を評価するため，先端曲率半径150nmのバーコビッチ圧子と，1μmのコニカル圧子を用いた走査型プローブ顕微鏡(SPM)複合型ナノインデンテーション装置による圧縮破壊試験法を試みた．シリカ粒子の圧縮試験において，バーコビッチ圧子を用いた場合は破壊点に近付くにつれて荷重-変位線図の傾きが小さくなる傾向を確認し，その原因が圧子先端半径および形状に由来することを明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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