2018年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
格子溝定盤を用いたラップ加工でのミリバブルスラリー挙動に関する研究
p. 275-276
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
p. 275-276
格子溝定盤を用いたラッピング加工において，ミリバブルスラリーを用いることにより加工精度及び研磨能率が向上することが報告されている．そこで，本研究では加工精度及び研磨能率向上のメカニズムの解明を目的とし，アクリル板を用いて加工部を流れるミリバブルスラリーを可視化した．これにより，2枚の格子溝定盤間を流れるミリバブルスラリーの挙動について明らかになったことを述べる．
