主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
p. 279-280
本研究では,研削プロセスに化学反応を取り入れ,加工変質層がない表面を創生するCMGプロセスを開発している.サファイアウエハに対して,酸化クロム砥粒によるCMGでは高い表面および亜表面の品質が得られたが,加工能率の改善が求められる.本報告では高いMRRを目指して,ボンドレス(砥粒率100wt%)CMGペレットを開発したので,摩擦摩耗試験で得られた結果を報告する.