2018年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
単結晶サファイアウエハ仕上げ用高集中度CMG砥石の開発
p. 279-280
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
p. 279-280
本研究では，研削プロセスに化学反応を取り入れ，加工変質層がない表面を創生するCMGプロセスを開発している．サファイアウエハに対して，酸化クロム砥粒によるCMGでは高い表面および亜表面の品質が得られたが，加工能率の改善が求められる．本報告では高いMRRを目指して，ボンドレス（砥粒率100wt%）CMGペレットを開発したので，摩擦摩耗試験で得られた結果を報告する．
