精密工学会学術講演会講演論文集
2018年度精密工学会秋季大会
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単結晶サファイアウエハ仕上げ用高集中度CMG砥石の開発
*前崎 智博Wang Jianbin周 立波清水 淳小貫 哲平尾嶌 裕隆
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キーワード: サファイア, CMG, MRR
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p. 279-280

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抄録

本研究では,研削プロセスに化学反応を取り入れ,加工変質層がない表面を創生するCMGプロセスを開発している.サファイアウエハに対して,酸化クロム砥粒によるCMGでは高い表面および亜表面の品質が得られたが,加工能率の改善が求められる.本報告では高いMRRを目指して,ボンドレス(砥粒率100wt%)CMGペレットを開発したので,摩擦摩耗試験で得られた結果を報告する.

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© 2018 公益社団法人 精密工学会
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