特殊加工用大ストローク5自由度制御型磁気浮上アクチュエータ

抄録

特殊加工においては，放電加工やレーザ加工などが挙げられる．高速化，高精度化，微細化な放電加工のためには，電極の高速かつ高精度な位置決め・姿勢制御が必要である．一方で，高速かつ高品位のレーザ加工のため，レーザビームの光軸を加工ガスのノズル開口の中心からずらすことが求められている．このため，本研究では，数ミリメートルのストロークと1μm以下の位置決め分解能を有する，5自由度制御型磁気浮上アクチュエータを開発する．