物質表面の電磁場揺らぎのナノスケール観測技術

抄録

格子振動や分子運動に起因する物質表面の電磁場の揺らぎ（THzエバネッセント波）をナノスケールで観測できるパッシブ型THz近接場顕微鏡について，装置原理と信号検出例，応用展開例を紹介する．金属配線上の熱雑音，半導体中のショット雑音（ホットエレクトロン）のナノスケール検出はナノICのエネルギー散逸検出に直結するものであり，次世代微細配線の最適設計において強力なツールとなるポテンシャルを示している．