電子スペックルに基づく三次元微細構造の観察

抄録

スペックル干渉計測技術は従来粗面を持つ物体の変形計測技術である。本研究では、三次元形状計測を行うための基本光学系を、直交する三軸方向で感度の揃った測定感度を持つ光学系として構築した。さらに、本光学系を用いて微細な構造を持つ測定物を観測可能にする技術を提案する。