2018年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第6報）
フォトニックナノジェットの発生原理に基づく強度分布制御手法
p. 553-554
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会秋季大会
開催地: 函館アリーナ
開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07
p. 553-554
フォトニックナノジェット(PNJ)は直径数ミクロンの誘電体球にレーザ光を照射することで発生するビームである．そのビーム径は数百ナノメートルで，ほとんど発散せずに数ミクロンの距離を伝搬する．PNJ発生においてマイクロ球は中心軸の近傍と遠方で異なる機能を持つ．この機能に基づいて，入射光の偏光をラジアル偏光にすることで，PNJは強度一様の平面波を入射したときに比べてより小さいビーム径が形成されることが明らかとなった．
