全反射照明による多波長光相関イメージングを用いたサブマイクロスケール3次元形状計測に関する研究（第1報）

基本原理の検証

抄録

広範囲かつ高分解能なサブマイクロスケールの3次元形状を計測するために，全反射照明を用いた多波長光相関イメージングによる手法を提案している．多波長光相関イメージングによって波長ごとの画像を取得する．それらの画像について，全反射照明による近接場光の理論染み出し距離と比較することで各画素の高さを取得する．これを全画素で行うことで3次元形状を計測することが期待できる．