光波干渉を用いない外乱に強い計測装置としてShack-Hartmann(SH)波面センサがある。我々のグループは、これまでも様々な用途向けに継続的に開発してきたが、今回大気揺らぎの影響を極力排除した計測ができる、つまり真空容器内で動作するSH波面センサを開発した。この波面センサの性能を保証するため、特徴的な歪を持つ原器を作成し、性能保証がされている干渉計とSH波面センサの双方で測定、比較した。その差は0.003 lambda r.m.sであった。但し、干渉計は真空容器内で動作しないため、大気中での比較とする。
