光スピンホール効果エリプソメトリの開発（第3報）

表面粗さ計測における近似モデルの検討

抄録

ナノメートルオーダの薄膜の膜厚や光学定数を求めるために，光スピンホール効果を利用した量子エリプソメトリを提案している．ここでは，測定試料表面で反射した際に分離した光のシフト量を弱測定することにより，従来のエリプソメトリより高精度な計測が期待できる．第3報では，表面幾何形状検出に向けた近似手法の検討を行った．島状Au膜の粒径分布に対して原理検証を行った後に，SiO2基板の3次元表面粗さに適用した．