KDP単結晶のレーザビーム研磨における表面粗さの改善

抄録

波長変換に使用されるKDP結晶は脆性材料であり，その加工には多大な費用と手間を要する．本研究では飽和溶液中でKDP結晶の稜線に沿ってレーザビームを走査することによって結晶面を研磨した．この研磨をレーザビーム研磨と呼ぶことにする．レーザビームの走査速度，ビームパワー，焦点ずらし，飽和溶液温度などの条件を変えて研磨を行い，研磨面の表面粗さを測定した．さらに，研磨前後の粗さ曲線の波長成分の解析を行い，改善できる研磨条件を検討した．