その場測定技術を用いたコーティング材の応力・組織変化に関する動的評価

抄録

PVDコーティングされた切削工具および金型が供される環境を想定した応力・材料組織の変化挙動を動的に評価するため，Ｘ線回折法を用い，供用下における応力・組織の変化挙動を動的に評価した．結果，PVD法によって成膜中に導入された転位や原子空孔の状態が，供用下における応力生成および緩和に大きく影響することがわかった．