スペックル干渉計測技術を用いたレンズの回折限界を超えた三次元形状計測

精密工学会学術講演会講演論文集

2018年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018S.0_375

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会春季大会

開催地: 中央大学

開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17

スペックル干渉計測技術を用いたレンズの回折限界を超えた三次元形状計測

*新井泰彦, 横関俊介

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キーワード: スペックル干渉計測, 三次元形状計測, 回折限界

会議録・要旨集フリー

p. 375-376

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抄録

スペックル干渉計測法を用いてレンズの回折限界を超えた三次元形状を高分解能に測定することのできる技術を実験結果を通して提案する．

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© 2018 公益社団法人精密工学会

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