2018年度精密工学会春季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第5報）
3次元FDTD法によるフォトニックナノジェットの強度分布解析
p. 389-390
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 389-390
フォトニックナノジェットは直径数ミクロンの誘電体球にレーザ光を照射することで発生するビームであり，そのビーム径は数百ナノメートルで，ほとんど発散せずに数マイクロメートルの距離を伝搬する．高い横分解能を保ったまま，深い加工が可能になる．3次元FDTD法によって，入射光を変化させた際のフォトニックナノジェットの強度分布を解析することで，強度分布制御による加工幅や加工深さの制御性について明らかにした．
