集束イオンビーム（FIB）を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性（第6報）

各種条件におけるテクスチャの効果

抄録

本研究では集束イオンビーム加工を応用した精密切削加工用工具の開発について検討している。本報では切れ刃形状を維持したまま、すくい面にテクスチャを作製した工具でアルミニウム合金、無電解ニッケルリンめっき、無酸素銅の3種類で加工実験を行い、被削材および加工条件の違いによるテクスチャの効果について検討した。