振動制御型マイクロカンチレバーによるナノスケール機械加工技術の開発

姜 振焱; 小倉 一朗; 澤田 浩之; 芦田 極; 田中 雄大; 藪野 浩司

doi:10.11522/pscjspe.2018S.0_45

2018年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018S.0_45

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会春季大会

開催地: 中央大学

開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17

振動制御型マイクロカンチレバーによるナノスケール機械加工技術の開発

*姜振焱, 小倉一朗, 澤田浩之, 芦田極, 田中雄大, 藪野浩司

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キーワード: 原子間力顕微鏡, 振動切削, マイクロカンチレバー, ダイヤモンド工具, ナノ切削

会議録・要旨集フリー

p. 45-46

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抄録

AFMのマイクロカンチレバーを用いた微小切削において，工具の振動切削で加工能率の向上を目指す．本報告では加工中，安定に共振するレバー形状について検討し，実験と解析によってその形状を求めたことについて発表する．初期荷重400μNで15.6kHz近傍の接触振動が行えることを確認した．この工具で50～800μNの荷重条件で切削を行い，振動切削による切削痕が通常の場合に比べてより深くなることを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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