社会実装が進むSiCパワー半導体と関連ウェハ技術の開発動向

抄録

超スマート社会の実現に向けエネルギーバリューチェーンの最適化にはSiCパワー半導体などエネルギーの高効率利用をもたらす新しいパワーエレクトロニクスの技術開発が今後重要である。本講演では社会実装が進み始めているSiCパワー半導体とその技術サプライチェーンの最上流であるウェハ材料技術の開発動向について報告し、今後の技術研究課題を議論する。