X線集光用超小型KBミラーのための作製・計測プロセスの開発

抄録

X線の極限集光には、アラインメント精度許容値の緩和、及びミラー表面での散乱光の低減が有効である。本研究では、それらを実現する2枚の超小型ミラーを用いた、KB型集光システムの作製と計測プロセスを開発した。小型化に伴う高い加工分解能の実現のために、作製方法として微小スポット成膜法を採用した。また、形状計測には白色干渉計を使用した。本発表ではミラー形状の作製と計測方法の検証について、その現状を報告する。