多層膜結像ミラー光学系による高空間分解能なX線顕微鏡の開発

波多 健太郎; 山田 純平; 松山 智至; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2018S.0_611

2018年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018S.0_611

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会春季大会

開催地: 中央大学

開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17

多層膜結像ミラー光学系による高空間分解能なX線顕微鏡の開発

*波多健太郎, 山田純平, 松山智至, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線光学, X線顕微鏡, X線ミラー, 多層膜

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p. 611-612

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抄録

高分解能な結像型X線顕微鏡を開発するために，グレイディッド多層膜がコーティングされたAdvanced Kirkpatrick Baez結像ミラー光学系の開発を進めている．我々は2次元多層膜結像ミラーを用いた結像実験をSPring 8 BL29XULにて行った．多層膜結像ミラー光学系を利用したX線結像が可能であることを実証し，20keVのX線による約30nmの空間分解能を達成した．

責任著者(Corresponding author)

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