2018年度精密工学会春季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせたX線アダプティブ集光システムによる2次元集光ビームの形成
キーワード:
X線ミラー,
アダプティブ集光光学系
p. 613-614
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 613-614
本研究では，X線自由電子レーザーなどの超高輝度光源において，集光径や作動距離などの光学パラメータを任意に変更可能なアダプティブ集光光学系の開発を目的としている．開発した集光システムは，圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせた構造になっており，長尺のミラーを高精度で変形することができる．開発したシステムで2次元集光実験を行った結果について報告する．
