超音波振動研削によるガラス加工の特性改善

第三報　超音波振動が内部応力分布に与える効果

抄録

超音波振動を援用した研削加工においては目づまりの抑制や研削抵抗の低減など，さまざまな加工特性の改善効果が知られている．その一方で，超音波加工のメカニズムについては，未だに不明な点が多い．その理由は，研削状態を定量的に計測するために一般的に用いられる工具動力計の周波数帯域は数kHz以下であり，超音波振動に起因する加工現象を十分に論じるための応力変動を測定できないためである．そこで，本研究では，光弾性法による応力可視化法を，ダイヤモンド軸付き電着砥石を用いたソーダガラスの穴あけ加工中における内部応力撮影に適用し，さらにコンピュータ断層撮影処理によって応力の断層像を得た．単粒砥石による切りくず生成時の応力状態の測定によって本手法の有効性を確認した．さらに，超音波振動加工によって，砥粒直下の応力値が減少することを確認した．