2018年度精密工学会春季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究（第1報）
反応ガス組成の最適化による表面粗さの改善
p. 631-632
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 631-632
プラズマCVMは，高能率な化学的ダメージフリー加工法として，Si，SiC，水晶ウエハなどの単成分材料の加工に適用されてきたが，多成分材料には適用されてこなかった．一般に多成分材料のプラズマエッチングでは成分毎にエッチレートが異なるため，表面粗さが悪化しやすい．本報では加工ギャップと反応ガス組成の最適化によりSiC/Si複合材料の加工において良好な表面粗さが得られる条件を検討した結果を報告する．
