エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第2報）

サブ波長表面構造の造形と光学特性評価

抄録

近 マイクロ，ナノオーダの複雑で微細な表面構造が，特徴的な光学特性を有することから，非常に注目されている．それらの表面構造を造形するために，我々はエバネッセント光の多光束干渉によって生じる複雑な強 分布を 用した干渉造形法を提案している．本報では，提案手法の加工特性の検証として，サブ波長程度の周期構造を作成した．また，造形した形状が有する光学特性を計測し，光学素子への応用可能性を検証した．