非接触ナノ形状測定法による凹球面レンズの三次元形状測定

抄録

近年、形状自由度の高い光学素子が様々な分野で応用されており、光学素子を高精度に作製するためにナノ精度の三次元測定法が必要とされている。そこで、我々は光の直進性を利用した法線ベクトル検出型非接触ナノ形状測定法の開発を行っている。本報では、非接触ナノ形状測定法を用いて反射率の低いレンズをレーザ光の強度を上げて測定し、繰り返し性を評価した結果について報告する。