せん断力検出型マイクロプローブに働く表面相互作用力に関する研究

抄録

本研究では微小球付きマイクロスタイラスを測定面に対して水平方向に振動させ，表面相互作用力を検出するマイクロプローブによる寸法計測に取り組んでいる．本報では，せん断力検出型マイクロプローブの力学モデルを提案し，測定対象表面における相互作用力とマイクロプローブ振動周波数変化の関係をシミュレーションにより調査した．実験結果との比較により提案したプローブ力学モデルの妥当性を評価したので報告する．