鉛直振動する圧電素子を用いた浮上機構の浮上特性

抄録

摩擦や磨耗を生じることなく物体をハンドリングするためには，非接触ハンドリング技術が有効である。これまでに，鉛直方向に振動する圧電素子を用いた浮上機構を製作した。圧電素子の振動により生じるスクイーズ膜効果を利用している。圧電素子の振動は印加電圧と駆動周波数によって変化するため，印加電圧，駆動周波数，圧電素子の変形量，浮上量の関係を明らかにした。印加電圧の増加によって浮上量が減少する場合があることを示す。