床面電力供給を利用したマイクロ移動ロボットの動作改善

抄録

圧電素子と電磁石を利用して微小動作が可能なマイクロロボットを開発してきた。製作したロボットは多自由度位置決め装置として応用を目指している。このロボットはインチワームの原理で移動しているが、外乱の影響を受け目標方向とは異なる方向に進んでしまう問題点がある。今回は外乱の影響の一つである配線の影響を無くすため制御システムをロボットに搭載し、駆動電力を床面から得る手法を採用しロボットの移動補正を行った。