スラリーを援用したスライシング方式の基礎的な加工特性

抄録

マルチワイヤソーによるスライシング方式は，遊離砥粒方式と固定砥粒方式とに大別することができる．本研究では，ダイヤモンド電着ワイヤ工具（固定砥粒）とスラリー（遊離砥粒）を併用し，高精度・高効率スライシングを実現させることを主な目的としている．本報では，硼珪酸ガラス，シリコン，サファイアを被削材とし，基礎的なスライシング特性について検討を行った結果を報告する.