スラリー研磨能力に着目した研磨レート分布シミュレーション技術の開発（第3報）

2次元研磨圧力分布解析結果の取り込み

抄録

本研究では，化学的要素と機械的要素の両方を組み込んだ研磨レート分布シミュレーション技術の開発を進めている．既報では化学的要素を特徴づけるスラリー研磨能力の概念を導入して，スラリー流れや温度分布，研磨圧力分布などを考慮できるシミュレーション手法を考案し，その有効性を検証した．本報では，3次元有限要素法解析により求めた2次元の研磨圧力分布を取り込んだ結果を報告する．