精密工学会学術講演会講演論文集
2019年度精密工学会秋季大会
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層流下のコバルト腐食に対する溶存酸素濃度の影響
*宇野 恵阿部 祐士中村 由美子高東 智佳子
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p. 17

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抄録

先端半導体の配線材料としてコバルトの採用が進んでいるが、コバルトは溶解しやすく、腐食抑制が課題の一つである。そこで、マイクロ流路ユニットを用いてCMP後洗浄プロセスでの水リンス時の腐食を評価した。溶存酸素濃度の低下がコバルトの腐食を進行させること、また、CVDとめっきの腐食速度の違いを確認した。これらの結果について、光電子分光法によるコバルト表面の酸化状態から現象を推察した。

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© 2019 公益社団法人 精密工学会
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