主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会秋季大会
開催地: 静岡大学
開催日: 2019/09/04 - 2019/09/06
荏原製作所 技術・研究開発統括部 解析・分析技術部 分析技術課
p. 17
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先端半導体の配線材料としてコバルトの採用が進んでいるが、コバルトは溶解しやすく、腐食抑制が課題の一つである。そこで、マイクロ流路ユニットを用いてCMP後洗浄プロセスでの水リンス時の腐食を評価した。溶存酸素濃度の低下がコバルトの腐食を進行させること、また、CVDとめっきの腐食速度の違いを確認した。これらの結果について、光電子分光法によるコバルト表面の酸化状態から現象を推察した。
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