スラリー研磨能力に着目した研磨レート分布シミュレーション技術の開発（第2報） スラリー流れ解析結果の取り込み

福田 明; 松尾 尚典; 望月 宣宏; 大渕 真志

doi:10.11522/pscjspe.2019A.0_13

2019年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019A.0_13

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会秋季大会

開催地: 静岡大学

開催日: 2019/09/04 - 2019/09/06

スラリー研磨能力に着目した研磨レート分布シミュレーション技術の開発（第2報）

スラリー流れ解析結果の取り込み

*福田明, 松尾尚典, 望月宣宏, 大渕真志

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キーワード: 化学的機械研磨, 研磨レート分布, シミュレーション, スラリー研磨能力, スラリー流れ

会議録・要旨集フリー

p. 13-14

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抄録

本研究では，化学的要素と機械的要素の両方を組み込んだ研磨レート分布シミュレーション技術の開発を進めている．第1報では化学的要素を特徴づけるスラリー研磨能力の概念を導入して，スラリー流れや温度分布，研磨圧力分布などを考慮できるシミュレーション手法を考案し，その有効性を検証した．本報では，汎用流れ解析ソフトによるスラリー流れ解析結果を取り込んでスラリー供給位置の影響をシミュレートした結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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