有機分子を用いたSi 表面上におけるナノ構造の作製と観察

抄録

本研究では，清浄化した単結晶シリコン表面上にV族元素を含む有機分子を吸着させ，その吸着構造と，分子吸着後の半導体表面上における分子の挙動を走査トンネル顕微鏡等により詳しく調べた．ピラジン分子をSi(001)表面に吸着させると，分子は1次元的に配列することが判明した．また，ピロールによる分子フェンスを有するSi(111)表面に，トリメチルフォスフィン分子を供給した場合，表面で分子がフェンス内で動く様子が観察された．