MVP法を用いたカーボン膜の作製

抄録

炭素膜の機能性向上のため，新規のプラズマ生成法であるマイクロ波励起高密度近傍プラズマ（MVP法）を用いたカーボン膜合成を試みた．生成物の形状としてフラワー状，ファイバー状，棘状，膜状の4種類が観察された．X線回折，ラマン分光分析の結果より，得られた生成物はダイヤモンドおよびアモルファスカーボンまたはダイヤモンドおよびグラファイトの混合物であることが考えられた．また，生成物の摩擦係数は0.3～0.6を示した．