エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究 接触洗浄時におけるPVAブラシとナノ粒子の識別

寺山 裕; 草津 航平; 森田 倫太朗; カチョーンルンルアン パナート; 和田 雄高; 濵田 聡美; 檜山 浩國

doi:10.11522/pscjspe.2019S.0_138

2019年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019S.0_138

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究

接触洗浄時におけるPVAブラシとナノ粒子の識別

*寺山裕, 草津航平, 森田倫太朗, カチョーンルンルアンパナート, 和田雄高, 濵田聡美, 檜山浩國

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キーワード: 接触洗浄, PVAブラシ, 蛍光ナノ粒子, 局在光, 実時間観察, 表面

会議録・要旨集フリー

p. 138-139

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抄録

半導体製造ではウェハ上に残留する直径100 nm以下の研磨ナノ粒子は重大な製造欠陥を引き起こすため，研磨後の表面洗浄は必要不可欠である．未だ解明されていないブラシスクラブ洗浄時表面近傍で発生するナノ粒子の付着・離脱挙動現象を，基板表面のみに局在するエバネッセント光で動的に観察した．本稿ではPVAブラシと異なった波長で蛍光するナノシリカ粒子を用いてブラシと粒子を色識別し，洗浄現象の可視化を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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