大ストローク５自由度制御型磁気浮上アクチュエータの研究

アクチュエータを放電加工への応用

抄録

放電加工の高速化と微細化のため，電極の高速，高精度位置決め，姿勢制御が必要となる．このため，本研究では，数ミリメートルのストローク，簡易な構造を有する，５自由度制御型磁気浮上アクチュエータを提案・試作した．本報では，試作したアクチュエータを放電加工機に取り付け，放電加工速度の向上への有効性を検討する．また，３次元微細加工の可能性を確かめるため，平面上で電極の軌跡を制御しながら放電加工を試みる．