光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究（第2報）

ラジアル偏光ビームを用いた空気中ミスト粒子の光トラップ効率の向上

抄録

3次元ナノ構造の製造技術が必要とされている。本研究では、光放射圧ポテンシャルに着目し、回折限界以下の範囲に粒子を局所化・3次元集積することで、寸法100nm以下の3次元微細構造を創成することを目的とした気相中のレーザー付加加工法を提案した。本報ではラジアル偏光の集光ビームが焦点付近において電場の光軸方向の成分が際立って強くなることを利用して、三次元微細構造の加工において重要な光トラップ効率向上を行った。