有機材料とガラスの化学的反応性に関する基礎研究

抄録

先行研究では、アクリル酸などの有機粒子を砥粒として用いた高空間分解能なガラス加工法が開発されている。有機粒子は、密度が低く、硬度が低いため、スラリー中での分散性が高く、被加工物を損傷させにくい。これまで石英ガラスの除去加工に使用されているが、その加工原理は明らかではない。本研究では、有機材料とガラスの反応性の仮説を立て、実験装置の設計、温度やpHなどの実験条件の変更、実験結果の比較を行い、検証した。