スライスミラーの超精密加工とイメージングシステムへの応用

抄録

分光イメージングに用いられるスライスミラーは，その特殊形状から作製が難しい．本研究では，切削によるスライスミラーの加工を行い，表面粗さと形状および回折光の評価を行った．その結果，一次試作品では工具破損由来で表面に高さ約2.5μmの凹凸がみられ回折光が発生したが，二次試作品では，表面粗さRa < 10 nm, 形状誤差PV < 100 nm, ミラー幅誤差 < ±100 μm，面角度誤差 < ±0.025°という要求仕様を満足し，回折光の発生を抑えることができた．