スケール信号分岐を用いた超精密機械加工における中間周波数形状誤差の検証

段 昊; 森田 晋也; 細畠 拓也; 山形 豊; 榎本 貴一; 安齋 正博

doi:10.11522/pscjspe.2019S.0_682

2019年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019S.0_682

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

スケール信号分岐を用いた超精密機械加工における中間周波数形状誤差の検証

*段昊, 森田晋也, 細畠拓也, 山形豊, 榎本貴一, 安齋正博

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キーワード: 中間周波数, 超精密加工機, 信号分岐, 形状偏差

会議録・要旨集フリー

p. 682-683

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抄録

複雑な自由曲面形状の加工には超精密加工機を用いた多軸同時制御が使用される場合，移動軌跡精の検証が困難となる．また，超精密加工機の加工精度を上昇しパラメータ最適化のためには機械の運動精度を評価する方法が必要である．筆者らは，この問題を解決するため，超精密加工機でのスケール信号分岐を用いた三次元軌跡精度評価法を開発し,多軸同時制御際の位置・角度変化量によって，三次元軌跡を構成して軌跡精度評価を行う

責任著者(Corresponding author)

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