LEDと空間エタロンを用いた空気屈折率に依存しない位置計測技術

抄録

長さ分野などにおける光波干渉計測では、空気ゆらぎの補正が重要である。このために、ブロード波長LEDによる干渉縞パターンのエンベロップ（群屈折率）と干渉縞の位相（位相屈折率）とから、空気の屈折率を推定する技術を報告してきた。今回、LED干渉計に空中型ファブリー・ペロー・エタロン用いることによって、空気の屈折率に依存しない空間位置を精密測定する方法を開発し、その可能性を実験的に検討したので報告する。