主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会春季大会
開催地: 東京電機大学
開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15
p. 920-921
本研究では, ヨウ素分子の吸収線を用いてレーザの周波数安定化を行う. 光源には633nm帯分布ブラッグ反射型レーザダイオード(DBR-LD)を用いる. このレーザダイオードは高出力, 安定した広いチューニング範囲, 細い線幅を持ち, 干渉計に適している.ヨウ素の飽和吸収線に周波数をロックして安定化させ, 変位測定用干渉計への適用を行う.干渉計において複数の波長が異なるレーザを用いて, 測定値の差から空気屈折率を補正する多色法を用いる.