精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会秋季大会
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金属ガラスの超音波顕微鏡用細径導波路への適用の検討
*篠田 航平チェン カン入江 喬介飯島 高志森田 剛
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p. 290-291

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抄録

ユニークな特徴を持つ新素材である金属ガラスについて、我々はこれまで100 MHzを超える高周波超音波の伝搬特性について検討を行い、従来の超音波導波路に使用される数種類の金属材料に比べ優位性があることを確認した。今回は、比較対象となる金属材料を追加し引き続き検証を行った。また、金属ガラス導波路を使用しての音響画像の取得を行い、超音波顕微鏡のための細径導波路への金属ガラスの適用可能性についても検討を行った。

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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